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HORIBA S48-32/HMT氣體質量流量控制器

簡要描述:

HORIBA S48-32/HMT氣體質量流量控制器
?可以任意角度安裝
?良好的線性——多段線性補償
?快速的響應
?電磁閥使用壽命≥100萬次
?對零點漂移有效的控制
?良好的選擇性
?化的零配件供應——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
HORIBA METRON質量流量計/控制器
流量規格(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/m

  • S48 32/HMT質量流量控制器
  • 可以任意角度安裝
  • 良好的線性——多段線性補償
  • 快速的響應
  • 電磁閥使用壽命≥100萬次
  • 對零點漂移有效的控制
  • 良好的選擇性
  • 化的零配件供應——傳感器、分流器、精密元器件日本進口

 

S48 32/HMT 

 

HORIBA S48-32/HMT氣體質量流量控制器

編號

項目

S48 32/HMT

1

流量規格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

調節閥類型

電磁調節閥

3

調節閥靜止狀態

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

2%~

6

流量測量范圍

0~

7

響應時間

2s(T98,設定值的±2% F.S.)

8

工作環境溫度

5℃~50℃

9

精度保證溫度

15℃~35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

線性精度

±0.5%F.S.

12

重復性

±0.2%F.S.

13

工作壓差

~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)

14

耐壓

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa•m3/s (He)

16

接觸氣體材料

316L,PTFE,Viton氟橡膠

17

管路接頭

Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″

18

供電電源

±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA

+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供電時)

19

設定信號

(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ

4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)

20

流量輸出信號

(0~5)VDC 負載能力≤3mA

21

電氣接頭

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

0.9

HORIBA METRON質量流量計/控制器

S48 32/HMT 安裝尺寸圖:

  • HORIBA S48-32/HMT氣體質量流量控制器

 

 

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